SPIE. Photonics West 01/2024
Towards process control by detecting acoustic emissions during ultrashort pulsed laser ablation of multilayer materials (Englisch)
Autoren: Inhalte:- Mit dem optischen Mikrofon Eta450 Ultra von XARION kann der ultrakurzgepulste Laserabtrag von dünnen Mehrschichtmaterialien überwacht werden
- Es ist möglich, den Materialübergang zwischen Polymer und Kupfer während des Laserabtrags zu überwachen, indem ein breites akustisches Frequenzspektrum zwischen 100 kHz und 2 MHz in Luft beobachtet und eine plötzliche Änderung der akustischen Energie erkennt
- Es wurde ein direkter Zusammenhang zwischen Erhöhung der Ablationsrate und erhöhter Schallenergie festgestellt