Authors:
C. Lutz, R. Sommerhuber, M. Kettner, C. Esen, R. Hellmann
Contents:
- Mit dem optischen Mikrofon Eta450 Ultra von XARION kann der ultrakurzgepulste Laserabtrag von dünnen Mehrschichtmaterialien überwacht werden
- Es ist möglich, den Materialübergang zwischen Polymer und Kupfer während des Laserabtrags zu überwachen, indem ein breites akustisches Frequenzspektrum zwischen 100 kHz und 2 MHz in Luft beobachtet und eine plötzliche Änderung der akustischen Energie erkennt
- Es wurde ein direkter Zusammenhang zwischen Erhöhung der Ablationsrate und erhöhter Schallenergie festgestellt
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