Hochauflösende laser-basierte Ultraschallinspektion ermöglicht Bildgebung eines internen Defekts

Ein Laser tastet die Materialoberfläche ab und erzeugt eine Ultraschallwelle. Unter der blauen Metallplatte befindet sich das optische Mikrofon, das der Ultraschallwelle zuhört, die durch die Probe übertragen wird. Die Software ordnet jeder räumlichen Koordinate ein lokales Schallereignis zu und zeichnet ein akustisches Ultraschallübertragungsbild. Das XARION-Logo (nur wenige µm tief) markiert die Stelle eines internen Materialfehlers, z.B. innerhalb eines Halbleiterbauelements. Die Ultraschall-Bildgebung erfolgt gänzlich ohne Wasser oder Gel!