Authors:
J. Zettl, C. Lutz, R. Hellmann
Contents:
- Das Optische Mikrofon Eta450 von XARION ermöglichte die Echtzeit-Überwachung von Laserdrehen mit Ultrakurzpulsen, indem es die Ultraschallemissionen einzelner Femtosekunden-Ablationsereignisse erfasste.
- Dank seines einzigartigen Ultraschallfrequenzbereichs von 50 kHz bis 2 MHz arbeitete das System zuverlässig in einer industriellen Fertigungsumgebung – trotz Prozessgasströmung, Absauganlagen und maschinenbedingten Umgebungsgeräuschen.
- Aus dem akustischen Signal ließen sich direkt Rückschlüsse auf Materialabtrag, Werkstückdurchmesserreduktion, Oberflächenqualität, Laserfluenz und Strahlversatz ziehen – mehrere Prozessgrößen mit einem einzigen Sensor erfasst.
- Die Ergebnisse zeigen, dass das membranfreie Optische Mikrofon von XARION nicht nur zur Prozessüberwachung geeignet ist, sondern auch als Grundlage für eine automatisierte, geschlossene Regelung in der Ultrakurzpuls-Laserbearbeitung dienen kann.
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