Authors:
Christian Lutz, Cemal Esen, Ralf Hellmann
Contents:
- Laserablation wird zur Bearbeitung von elektronischen Anwendungen (z.B. PCB) verwendet.
- In dieser Arbeit werden Materialübergänge während der Laserablation durch ihr akustisches Signal mit dem optischen Mikrophon detektiert.
- Der Materialübergang von Kupfer auf Polyimid stand dabei im Fokus. Durch die höhere Abtragungsrate von Polyimid im Vergleich zu Kupfer, konnte beim Übergang ein starker Anstieg der akustischen Energie erkannt werden.
- Zusätzlich zur Detektion von Materialübergängen konnte auch ein Zusammenhang des akustischen Signals mit der Schichtdicke erkannt werden.
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